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X射线光电子能谱仪(XPS)+俄歇电子能谱仪(AES) 添加时间：2016/11/29 18:17:51
XPS利用光电效应的原理，测量X射线激发出的光电子能量和计数，对样品表面几个纳米深度的范围内进行半定量的成分和化学态分析；AES利用电子激发出的俄歇电子，对表面进行微区的成分和化学态分析。
测试项目：表面成分及化学态分析
测试范围：各种固体表面的元素成分、化学价态、分子结构分析和深度剖析
主要技术指标：
XPS灵敏度：16,000,000 cps
XPS能量分辨率：<0.48eV
XPS最小分析面积：30μm
AES灵敏度：500,000 cps
AES能量分辨率：<0.4 dE/E
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