扫描电子显微镜利用二次电子或背散射电子成像，对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察，最大放大倍数可达30万倍，同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析。

测试项目：样品表面成分分析        

    测试范围：各种固体材料的形貌分析、微区化学成分检测，样品成分的线分布和面分布分析

主要性能指标：

    分辨率：高真空模式3.0nm, 低真空模式4.0nm

    放大率：×8～×300000

    最大样品尺寸：125×100×80mm

    能谱能量分辨率：129.45eV

    可测元素范围：铍Be~锿Es