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二次离子质谱仪添加时间：2016/11/21 15:41:53
Secondary-Ion-Mass Spectroscope (SIMS)，这是用来检测材料的一种仪器，即是利用离子束把待分析的材料从表面溅射出来，然后再检测出离子组分并进行质量分析。
主要技术指标： 质量分辨率：全质量范围分辨率m/dm>100 灵敏度：>5000cps/nA 98Mo++98MoO+ 分析区域：分散离子束 固定范围直径为2.7+/-0.3mm 元素范围：3—300质量数 测试范围及服务项目：检测特殊元素在表面的聚集，表面改性，等离子表面处理
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